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高壓加速老化試驗(yàn)箱測(cè)試半導(dǎo)體器件可靠性方法
一、前言:
在半導(dǎo)體器件的研發(fā)與生產(chǎn)過程中,確保其性能的可靠性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。高壓加速老化試驗(yàn)箱能夠模擬各種惡劣環(huán)境條件,通過對(duì)半導(dǎo)體器件施加高電壓和高溫等應(yīng)力,快速暴露潛在的缺陷和故障,大大縮短了產(chǎn)品可靠性驗(yàn)證的時(shí)間。
二、測(cè)試流程:
樣品準(zhǔn)備:選擇一定數(shù)量且型號(hào)規(guī)格相同的半導(dǎo)體器件作為測(cè)試樣品,確保樣品外觀無明顯損傷、引腳無變形等。對(duì)每個(gè)樣品進(jìn)行編號(hào),記錄初始參數(shù),如正向?qū)妷骸⒎聪蚵╇娏鞯取?/span>
試驗(yàn)箱設(shè)置:根據(jù)半導(dǎo)體器件的特性和測(cè)試要求,設(shè)置高壓加速老化試驗(yàn)箱的參數(shù)。包括設(shè)定老化電壓,一般為器件額定電壓的 1.5 - 2 倍;老化溫度,通常在 100 - 150℃之間;老化時(shí)間,可根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定為 24 小時(shí)、48 小時(shí)或更長(zhǎng)。
樣品安裝:將編號(hào)后的半導(dǎo)體器件小心安裝在試驗(yàn)箱的樣品架上,確保器件引腳與測(cè)試夾具連接牢固,避免虛接影響測(cè)試結(jié)果。
測(cè)試過程:?jiǎn)?dòng)試驗(yàn)箱,開始老化測(cè)試。在老化過程中,每隔一定時(shí)間(如 1 小時(shí))對(duì)樣品進(jìn)行一次參數(shù)測(cè)量,記錄正向?qū)妷骸⒎聪蚵╇娏?、結(jié)溫等參數(shù)變化。若發(fā)現(xiàn)某個(gè)樣品參數(shù)超出正常范圍,應(yīng)立即標(biāo)記并記錄相關(guān)情況。
測(cè)試結(jié)束:達(dá)到設(shè)定的老化時(shí)間后,關(guān)閉試驗(yàn)箱,待溫度降至室溫后,取出樣品。再次對(duì)所有樣品進(jìn)行全面參數(shù)測(cè)量,并與初始參數(shù)進(jìn)行對(duì)比分析,評(píng)估器件的老化性能。
測(cè)試數(shù)據(jù)參考:
樣品編號(hào) | 初始正向?qū)妷?/span> (V) | 老化 1 小時(shí)正向?qū)妷?(V) | 老化 2 小時(shí)正向?qū)妷?(V) | 老化 3 小時(shí)正向?qū)妷?(V) | 老化結(jié)束正向?qū)妷?/span> (V) | 初始反向漏電流 (A) | 老化 1 小時(shí)反向漏電流 (A) | 老化 2 小時(shí)反向漏電流 (A) | 老化 3 小時(shí)反向漏電流 (A) | 老化結(jié)束反向漏電流 (A) | 初始結(jié)溫 (℃) | 老化 1 小時(shí)結(jié)溫 (℃) | 老化 2 小時(shí)結(jié)溫 (℃) | 老化 3 小時(shí)結(jié)溫 (℃) | 老化結(jié)束結(jié)溫 (℃) |
1 | 0.70 | 0.71 | 0.72 | 0.73 | 0.75 | 1.00×10?? | 1.20×10?? | 1.50×10?? | 1.80×10?? | 2.20×10?? | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 |
2 | 0.71 | 0.72 | 0.73 | 0.74 | 0.76 | 1.10×10?? | 1.30×10?? | 1.60×10?? | 1.90×10?? | 2.30×10?? | 31 | 41 | 51 | 61 | 71 |
3 | 0.69 | 0.70 | 0.71 | 0.72 | 0.74 | 0.90×10?? | 1.10×10?? | 1.40×10?? | 1.70×10?? | 2.10×10?? | 29 | 39 | 49 | 59 | 69 |